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通用高精度绝压传感器 |
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CYG002、CYG003 |
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| 以真空压力为零位参考点的大气压、真空度和绝对压力的测量在科学研究和工业仪表中有很广 |
| 泛的应用。我们用先进的微机械加工技术制造，参考压力腔用真空静电封接技术开发了该项不同应用 |
| 面的系列产品。CYG002用于粗真空度及环境大气压的测量，是膜盒真空计高度计的代替产品及水银 |
真空压力计的代换产品。CYG003则是采用进口不锈钢波纹隔离膜片为敏感组件制作的通用传感器， |
| 是一种宽量程介质普适性强的绝对压力传感器. |
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| 一.主要技术指标 |
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型 号 |
CYG002 |
CYG003 |
量 程 |
0—100，200KPa |
0—10，16，…1000KPa 100MPa |
零位输出 |
≤±10mV |
≤±5mV |
满量程输出 |
30—200mV（视量程而定） |
过载能力 |
200﹪ |
供电电源 |
恒流源供电9 mA或恒压源供电﹢15V |
恒流源供电1—2 mA或恒压源供电﹢15V |
电桥阻抗 |
0.3—1 K? |
3—6 K |
补偿温区 |
﹣10℃—﹢60℃ |
工作温区 |
﹣40℃—﹢80℃ |
适用介质 |
无腐蚀性气体及对硅、玻璃、环氧树脂不腐蚀、相兼容的介质 |
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| 二.分档性能参数 |
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指标
档级 |
零点时漂
mv8小时 |
零点温度系数
×10﹣4 / ℃·FS |
灵敏度温度系数
×10﹣4 / ℃·FS |
非线性
±﹪FS |
不重复性，迟滞
﹪FS |
A |
0.2 |
5 |
5 |
0.5 |
0.2 |
B |
0.2 |
3 |
3 |
0.3 |
0.15 |
C |
0.1 |
2 |
2 |
0.2 |
0.1 |
D |
高精度要求特定 |
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| 三.标准外形、压力接口及壳体材料 |
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| 下图为传感器标准外型，压力接口可以在M12×1和M20×1.5选择，亦可特定外型及接口，材料 |
| 为1Cr18Ni9Ti。 |
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